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上海雙束聚焦離子束制備Dual-beam FIB 宜特檢測
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雙束聚焦離子束樣品制備(Dual-beam FIB)：
iST宜特建置業(yè)界相當高階FEI Helios 450S機臺及FEI Helios 600機臺，采三班制24小時運作，提供客戶快速交期的高質(zhì)量服務。
Dual-beam FIB機臺能在以離子束切割樣品時，同時用電子束對斷面進行觀察。宜特所建置的業(yè)界相當高階機臺，具備超高分辨率的離子束及電子束。能針對樣品中的微細結構進行奈米尺度的定位及觀察，大幅提升失效分析及TEM樣品制備的成功率與影像質(zhì)量。
雙束型聚焦離子束顯微鏡的應用，主要以下列所述為主：
半導體組件故障分析(能力可達20nm高階制程)半導體生產(chǎn)線制程異常分析磊晶與薄膜結構分析電位對比測試穿透式電子顯微鏡試片制作奈米級結構制作
關于宜特：
iST始創(chuàng)于1994年的臺灣，主要以提供集成電路行業(yè)可靠性驗證、材料分析、失效分析、無線認證等技術服務。2002年進駐上海，全球現(xiàn)已有7座實驗室12個服務據(jù)點。目前已然成為深具影響力之芯片驗證第三方實驗室。
雙束聚焦離子束樣品制備(Dual-beam FIB) |
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