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0100-09172 A AMAT板卡渠道商介紹，CINNO Research 產(chǎn)業(yè)資訊，全球**半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)Applied Materials（AMAT）將提速中止EUV Blank mask開發(fā)。EUV Blank mask是隨著次世代半導(dǎo)體制程EUV曝光方式走紅后重生的事業(yè)。作為全球**的半導(dǎo)體設(shè)備廠商AMAT持續(xù)尋求新的生長(zhǎng)動(dòng)能，而韓國(guó)外鄉(xiāng)企業(yè)對(duì)相關(guān)材料的停頓卻緩不濟(jì)急。
7月14日產(chǎn)業(yè)資訊，全球**大半導(dǎo)體廠商，也是市占率高達(dá)20%的公司AMAT正在中止EUV Blank mask開發(fā)。Blank mask是指半導(dǎo)體曝光制程所用的未繪制電路Pattern狀態(tài)的光罩。曝光制程是提早將半導(dǎo)體電繪制到光罩之后中止光反射或透射反復(fù)印制在晶圓的過程。類似于是畫底圖，為控制光源繪制電路，光罩式必不可少的中心。
普通來說是先制造出空白光罩即Blank mask之后再對(duì)其中止pattern繪制。而作為次世代半導(dǎo)體制程的EUV是容易被氣體、液體、固體所吸收的光源，Blank mask的制造也是非常特殊。
普通的曝光制程基本采用ArF光源，以便光源透射。但EUV光罩是經(jīng)過疊加80層左右的Mo（鉬）和Si（硅）以反射EUV光源。所以業(yè)界以為EUV Blank mask是一種新事業(yè)范疇。
業(yè)界人士表示：AMAT著手Blank mask已有3年時(shí)間，主要是在新加坡主導(dǎo)中止開發(fā)。公司以為有利于應(yīng)用原設(shè)備，才會(huì)選擇Blank mask作為新事業(yè)開拓。公司為了盡早完成技術(shù)量產(chǎn)，也在和韓國(guó)光罩廠商中止協(xié)作。
但業(yè)界評(píng)論，量產(chǎn)或仍需時(shí)間。業(yè)界專家以為產(chǎn)品量產(chǎn)普通都要耗時(shí)10~20年，研發(fā)應(yīng)該還需時(shí)間。而即使量產(chǎn)之后，能否能抓住客戶也是一個(gè)難題。Blank mask基本已被日本HOYA、AGC Glass獨(dú)供到三星和英特爾，EUV產(chǎn)業(yè)鏈本身也是幾乎被HOYA在主導(dǎo)。
業(yè)界以為，哪怕技術(shù)展開成功也將難超越日本。當(dāng)然，隨著EUV時(shí)期的到來，也會(huì)有很多Blank mask的需求，AMAT依然還有勝算。
AMAT公司對(duì)外表示：公司已在中止研發(fā)，但暫無法告知細(xì)致內(nèi)容。
對(duì)AMAT著手EUV Blank mask，韓媒評(píng)論：連AMAT這種全球**的企業(yè)都不遺余力的中止研發(fā)以應(yīng)對(duì)新EUV技術(shù)。但國(guó)內(nèi)對(duì)此的外鄉(xiāng)化卻是緩不濟(jì)急。韓國(guó)中小企業(yè)雖有中止EUV檢查設(shè)備、Pellicle、光罩等開發(fā)，但相較日本依然落后。以致也有人質(zhì)疑若日本將出口限制名單中增加Blank mask時(shí)，問題將會(huì)愈加險(xiǎn)峻。若韓國(guó)產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)能積極協(xié)作以確保外鄉(xiāng)技術(shù)才干，亡羊補(bǔ)牢，為時(shí)不晚。
資訊來源：汕頭羅克自動(dòng)化
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泛社交成趨勢(shì)
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