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中圖儀器SJ6000機床用的激光干涉檢測儀是一種利用光的干涉原理來測量物體長度、厚度、形狀、折射率等參數的儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強等優點。


激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，在計量領域中可作為長度基準以及設備校準工具。可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。廣泛應用于數控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領域。


性能特點
1. 自動采集數據，避免人為讀數誤差，精度高；

2. 測量過程全自動化，效率高；

3. 可測量任意方向的回轉軸，可測量任意角度間隔，通用性強；

4. 可自動生成誤差曲線和補償數據，根據不同標準自動計算定位精度結果，無需人工計算。


產品功能
SJ6000機床用的激光干涉檢測儀可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

可實現龍門機床雙軸同步測量；

可實現對機床回轉軸的測量與校準；

可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

支持手動或自動進行環境補償。



產品配置
機床用的激光干涉檢測儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。


技術規格
穩頻精度 0.05ppm
動態采集頻率 50 kHz
預熱時間 ≤ 6分鐘
工作溫度范圍 (0~40)℃
存儲溫度范圍 (-20~70)℃
環境濕度 (0~95)%RH
線性測量距離 (0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度 0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程 (0~15)m
角度測量精度 ±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程 (0~15)m
平面度測量精度 ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)
直線度軸向量程 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程 短距離(0.1～3.0)m;長距離(1.0～15.0)m
垂直度測量精度 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m


注意事項：

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量