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（1）等離子低溫催化氧化法
　　低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。
　　放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。
　　低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到分解污染物的目的。
　　優點：廣泛適用性，適合于處理低濃度（〈1～1000ppm〉）、劇毒劇臭的有害氣體，彌補了其他技術無法處理的空白。以及操作簡單。
　　缺點：單獨的低溫等離子體技術在處理有害氣體時還是有其欠缺的地方，如不能完全徹底地把有害氣體轉化為無害氣體，副產物較多；且在氧等離子體下產生大量的臭氧；能耗較高；脫除效率較低等。
　　（2）活性炭吸附法
　　利用多孔性的活性炭、硅澡土、無煙煤等分子級的大表面剩余能，將有機氣體分子吸附到其表面，從而凈化。
　　優點：處理效率高（活性炭吸附可達99%以上），適用廣泛，操作簡單，投資費用低。
　　缺點：系統風壓損失大，使得能耗較高，吸附劑的飽和點難掌握，吸附劑容量有限，運行費用較高。