在工業(yè)用水中，根據(jù)對(duì)水的不同要求可按其純度進(jìn)行分類。
1.軟化水 一般是指將水中的鈣離子、鎂離子等離子的含量降低或去除至一定程度的水。水在軟化過(guò)程中，硬度降低，軟化水一般廣泛用于低壓工業(yè)鍋爐用水。軟化方法通常為離子交換法和藥劑軟化法。
2. 脫鹽水（包括一級(jí)脫鹽與二級(jí)脫鹽） 一般是指用物理、化學(xué)等方法將水中易于去除的強(qiáng)電解質(zhì)去除至一定程度的水。在除鹽過(guò)程中亦除去了部分機(jī)械雜質(zhì)和有機(jī)物質(zhì)。脫鹽水中的剩余含鹽量一般應(yīng)在1-5mg/L以下，25度時(shí)的電導(dǎo)率為1-10μs/cm。常用的脫鹽方法有蒸餾、膜分離子、離子交換或幾種方法的組合使用。
3.純水 雙稱去離子水。一般指用物理、化學(xué)的方法將水中易于去除的強(qiáng)電解質(zhì)去除之外，還將水中難以去除的硅酸及二氧化碳等弱電解質(zhì)去除至一定程度的水。25度時(shí)純水中的電導(dǎo)率一般為0.1-1μs/cm，剩余含鹽量一般應(yīng)在1mg/L以下。純水設(shè)備的常用方法有離子交換、**、膜分離子等方法。
4.高純水 又稱“超純水”。一般是指將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至極低程度的水。高純水中剩余含鹽量應(yīng)在0.1mg/L以下，25度時(shí)的電導(dǎo)率在0.1μs/cm以下。
5.理論水 又稱理想水，即不含任何雜質(zhì)的水，這樣的水是不存在的。
隨著近年來(lái)科技的不斷發(fā)展，各行業(yè)對(duì)純水的水質(zhì)要求也不斷提高，以前將電阻率作為**衡量水質(zhì)純度的做法已遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足要求了，人們開(kāi)始對(duì)水中陰離子含量、陽(yáng)離子含量、顆粒數(shù)、有機(jī)物和**等逐步有了定量的指標(biāo)和限制。在20世紀(jì)70年代中期，微粒、**、二氧化硅、鈉和總有機(jī)磷這五項(xiàng)指標(biāo)的確定，才確保了集成電路加工用水的質(zhì)量。進(jìn)入80年代，由于集成度的進(jìn)一步提高，對(duì)純水水質(zhì)要求尤其是微粒、**更加嚴(yán)格，在此基礎(chǔ)上又增加了溶解氧的限制指標(biāo)。
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